泽伊塔仪器科技(上海)有限公司

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泽伊塔仪器科技(上海)有限公司研发、生产多模式光学测量和检测设备。产品应用于:半导体先进封装、LED、先进玻璃制造、太阳能光伏、微流体以及硬盘行业。泽伊塔仪器科技(上海)有限公司总部位于美国硅谷(加州圣何塞市),并在中国上海设有全资子公司。
成立时间
2012-05-02
所在地
中国上海
注册资本
250万元人民币
法定代表人
侯震
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
组织机构代码
594728065
经营范围
测量仪器及零部件、集成电路、机械设备、自动化传输设备及自动控制系统的设计、研发;计算机软件的研发、设计、制作,销售自产产品;计算机系统集成的设计、安装、调试和维护,自有技术成果的转让,提供相关的技术咨询和技术服务;测量仪器及零部件、集成电路、数据处理设备、通信设备、计算机软件(音像制品除外)、计算机硬件、电子元器件、机械设备、自动化传输设备及相关设备及零部件的批发、进出口和佣金代理(拍卖除外),并提供相关的配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按照国家有关规定办理申请;)【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】。

泽伊塔仪器科技(上海)有限公司公司简介

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泽伊塔仪器科技(上海)有限公司研发、生产多模式光学测量和检测设备。产品应用于:半导体先进封装、LED、先进玻璃制造、太阳能光伏、微流体以及硬盘行业。泽伊塔仪器科技(上海)有限公司总部位于美国硅谷(加州圣何塞市),并在中国上海设有全资子公司。[1] 

泽伊塔仪器科技(上海)有限公司公司产品

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泽伊塔仪器科技(上海)有限公司样品本色三维轮廓仪ZETA-20

透射光照明
  • 此功能可配备于玻璃载台系统
  • 高亮度LED控制集成在先进的配方设置中,实现对样品的多光路同时扫描
侧光照明
  • 暗场照明
  • 光源位置和角度可调节
基座
  • 12×12英寸基台上有螺纹孔阵列方便灵活配置
  • 用户可根据自己需求添加其它附件
模块化Z塔

  
  • Z塔设计为坚固、整块的垂直塔,可以保持优异稳定性
  • 可根据不同样品厚度和不同载台选择不同的安装位置
ZETA-20 CM
磁盘倒角测量
  • Zeta-20 CM专用于磁盘边缘几何结构测量以及污染物和边缘缺陷检测
  • 特殊的应用软件包用于磁盘边缘测量和检测
ZETA-20 旋转头
  • 使大且重的样品成像,不能容易地转动
  • 旋转头沿精密凹槽移动从垂直到水平位置
  • 头可反复定位在任何所需的角度用角度刻度标记在支撑板

  
完全集成的防振机制
  • 特殊设计的保护罩用于扫描仪与外界的隔离
  • 安装简单
  • 设备可以零成本轻松移位
三维轮廓测量Zeta产品有标配和可选的软件包

  
PCB和柔性PCB测量Zeta-600可以结合Zeta特殊的应用软件包对PCB和柔性PCB进行三维测量
完全集成的防振机制
  • 特殊设计的保护罩用于扫描仪与外界的隔离
  • 安装简单
  • 设备可以零成本轻松移位

泽伊塔仪器科技(上海)有限公司ZETASCAN系列

产品配置&特点
  • ZetaScan:手动上、下片
  • ZetaScan-AUTO:配备开放式150/200mm晶圆盒上、下片手臂
  • ZetaScan-EFEM:300 mm EFEM/FOUP自动上、下片系统
  • 300 mm & 200 mm双机械臂
  • 可选的Edge Grip上、下片方式
  • 手动系统可放置其他类型样品
  • 集成隔振系统

泽伊塔仪器科技(上海)有限公司技术

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泽伊塔仪器科技(上海)有限公司测量

Z-点阵专利技术
ZSI-差分干涉技术[2] 
ZFT-反射光谱膜厚分析技术
ZIC-干涉反衬成像技术

泽伊塔仪器科技(上海)有限公司检测

AOI-自动光学检测
ZetaScan-全表面检测

泽伊塔仪器科技(上海)有限公司软件

ZMorf – 先进的分析软件
参考资料